XR-F001微型氣體質(zhì)量流量計(jì)是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列的傳感器均采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低，易安裝，不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)。